应用案例

TCO薄膜通电测试

2018-08-06

一、背景概述

TCO薄膜是一类特殊材料和工艺的镀膜,它主要应用于平板显示器和建筑两大领域。与其他类型的导电薄膜相比,氧化物透明导电膜不仅导电性好,而且还像玻璃一样具有高的透明性,所以,可以把它看作一种用途十分广泛的特征功能薄膜。

     这种氧化物透明导电薄膜用途十分广泛,它的主要用途有:

  • 显示器件中的电极材料;
  • 防静电,防电磁屏蔽层。为了防止静电,必须使方阻小于109Ω;
  • 面发热体。SnO2薄膜的电热转换效率在90%以上,通电后立即产生热效应;
  • 热反射膜。SnO2ITO薄膜在红外部分的反射率可达到80%以上;
  • 太阳能电池。(1) SIS异质结太阳能电池;(2) 太阳能电池的减反射膜;
  • 薄膜电阻器;
  • 气敏传感器。现已能探测甲烷,COCO2H2H2S、乙醇等多种气体和烟尘;
  • 终端设备,用透明导电薄膜制作薄膜开关;
  • 汽车玻璃。

用FOTRIC产品进行测试(配备50μm微距镜头)

TCO薄膜的主要技术指标有光谱透过率、导电性能、雾度以及激光刻蚀性能。其中,在薄膜电池的制作过程中,需要将表面划分成多个长条状的电池组,这些电池组被串联起来用以提高输出能效。因此,TCO玻璃在镀半导体膜之前,必须要对表面的导电膜进行刻划,被刻蚀掉的部分必须完全除去氧化物导电膜层,以保持绝缘。刻蚀方法目前有化学刻蚀和激光刻蚀两种,但由于刻蚀的线条要求很细,一般为几十微米的宽度,而激光刻蚀具有沟槽均匀,剔除干净,生产效率快的特点。

 

二、客户需要解决什么问题

  • 研发人员需要验证这类薄膜的印刷质量和刻蚀工艺
  • 是否存在断裂、粘连等问题


其中白框内两线间距为50微米

 

三、当前有哪些解决方案及其弊端

TCO薄膜通电,测试刻蚀质量。采用测试温度的方式测量,如果出现粘连或断裂会出现不同的温度变化。

热电偶与数采

  • 使用热电偶测温准确,但是由于电池组较细,而且间距只有50微米宽,没有办法很好的粘贴
  • 热线偶可能会导致通电时电路
  • 只能测量点或几个点的温度,没有办法找到整个薄膜上刻蚀的线断裂部位或短路部位
  • 破坏了器件本身的热场分布,尤其是小尺寸元器件;
  • 热电偶有温度惯性,采集的温度和实际温度有滞后。

红外测温枪

  • 红外测温枪使用方便,但问题也很多:
  • 没有办法精确找到测量的部位,不能同时测试多个点;
  • 不能直观看到问题点;
  • 被测部位很小,温度会被平均。

四、产品如何帮助客户解决该问题及优势

  • TCO薄膜通电,采用FOTRIC科研产品搭配50微米微距镜观看温度变化,如果出现粘连可以看到高温点,如果出现断裂会有线路温度较低。


  • FOTRIC科研热像仪单张热像图即采集110592个温度值,可以直观看到问题点,高效率无盲区的查找问题。
  • FOTRIC科研热像仪可连接电脑,配合AnalyzIR专业软件变身为在线热像仪,而且搭配Fotric B1实验台测温更稳定。

 

五、哪些客户需要解决该问题

  • 薄膜印刷厂
  • 电路印刷等